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产品详细

产品名称： 纳米级气浮平台（定制）

发布日期： 2018-12-21

点击数： 1517

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二维码：

简述： 纳米级气浮平台（定制）

产品详情

高性能运动控制

·先进的算法和技术：NanoPWM，ServoBoost，MIMO Gtry，AutoFocus，SPiiPlusSC等。

·面对更大的负荷、更高的分辨率和更高的精度的挑战。

·设计持久的建筑

·Intel核心MPU/Servo处理器体系结构标准工业以太网(EtherCAT)

·可伸缩性与灵活性

·64轴&1000秒支持第三方设备的I/O

·全仿真器整个系统的单一开发环境

·适用于许多其他要求很高的应用

·电子Mfg拾取/放置，平板显示检查，宽格式喷墨打印，SEM，CMM


纳米级运动控制要求

>大型龙门-750 x 750毫米或以上旅行面积

>典型的运动性能规格

>高速>1米/秒

>高精度<50 nm以上450 mm

>最快的移动&固定到±1nm窗口

>平滑速度(±3nm跟随误差@100毫米/秒)

>典型级组分：空气或精密机械轴承

>直线伺服电机

>高分辨率光学和/或激光干涉仪和激光编码器

>动态Z自动对焦

>多个低功率电机和反馈类型

>基于XY或XYZ位置的相机/光学触发

>100 nm的聚焦精度；自动、平滑地切换到&从焦点误差传感器和位置编码器反馈

>将驱动器和I/O安装到移动头上，以简化布线电缆

>多电机和反馈类型，功率等级范围广

>宽范围的I/O类型，快速响应时间(=亚毫秒)


纳米级完整检测控制应用案例









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